电子工业从产品来分的话，自上而下可以分为电子整机产品和电子基础产品，还有电子专用材料等三个部分，其中包含有：光电器件、半导体器件、电子元件及电子终端产品等方面。电子厂废气的主要来源是对电子产品的表面涂层工艺环节所用溶剂型涂料和清洗工艺环节所用有机溶剂所致。

电子工业废气VOCS常见的种类有：异丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇单甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基异丁基甲酮、二氯甲烷、环已酮、乙苯、正庚烷、甲氢呋喃、三氯乙烯和氯仿等。

对于这种排放量大、浓度低、成分复杂的废气，比较常用的废气处理方法有：焚烧、吸附、冷凝、生物膜法、低温等离子、光催化氧化等，单独使用的话有可能无法达成经济运行，或不能满足严苛的排放标准，以下对于电子厂车间废气处理的几种方法进行简单介绍一下。

1、焚烧法（RTO）：能耗大、运行成本高，适合处理高浓度、小风量有机废气；

2、吸附法（活性炭）：投资小、工艺简单，易饱和，需要与脱附、冷凝、焚烧等方法联用才能满足排放要求；

3、冷凝法：与吸收、吸附等方法联用，将有机废气吸附浓缩后冷凝、分离，回收其中有价值的有机物。此法适用浓度高、风量小的有机废气处理场合。缺点是：投资、能耗、运行费用高，冷凝回收物提纯处理后，仍有相当部分液态废弃物需要进一步处理。该方案与生产设备、生产工艺存在匹配关系，偏离这种匹配关系将提高治理成本，影响治理效果；

电子厂车间废气处理采用的方法

4、沸石转轮浓缩+焚烧法：沸石转轮浓缩设备基本依靠进口，自主产品尚不成熟。该方案同样与生产设备、生产工艺存在匹配关系；

5、光催化氧化法：采用C波段（仅次于切割不锈钢的激光，强于氩弧焊光源的数十倍强度）在设备内，强裂解恶臭物质分子链，改变物质结构，将高分子污染物质，裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等；

6、高温等离子净化法：经过压缩、高压聚能放电成为高温等离子体。反应器压力增高，气体体积急剧膨胀，在高温、高电势的双重作用下，有机废气瞬间(万分之5秒)成为高温等离子体，其中长分子链裂解成单质原子，有机物净化率在90%左右。

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